IMPROVED ENERGY ANALYZER FOR VOLTAGE MEASUREMENT IN ELECTRON-BEAM PROBING FOR LSI DIAGNOSIS

被引：4

作者：

ITO, A

OOKUBO, K

GOTO, Y

FURUKAWA, Y

INAGAKI, T

机构：

[1] Fujitsu Lab Ltd, Atsugi, Jpn, Fujitsu Lab Ltd, Atsugi, Jpn

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1985年 / 3卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.583268

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

ELECTRONS

引用

页码：383 / 385

页数：3

共 4 条

[1]

FEUERBAUM HP, 1979, SEM, V1, P285

GOTO, Y ;

ITO, A ;

FURUKAWA, Y ;

INAGAKI, T .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1981, 19 (04) :1030-1032

MENZEL, E ;

BRUNNER, M .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 1983, 1 (04) :1348-1351

NAKAMAE, K ;

FUJIOKA, H ;

URA, K .