MECHANICAL-PROPERTIES AND DETERIORATION OF MGF2 THIN-FILMS

被引:17
作者
KINBARA, A
BABA, S
MATUDA, N
TAKAMISAWA, K
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(82)90437-0
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页数:5
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