CHEMICAL IMPLANTATION OF 10-KEV H+ AND D+ IN RUTILE

被引:29
作者
SISKIND, B [1 ]
GRUEN, DM [1 ]
VARMA, R [1 ]
机构
[1] ARGONNE NATL LAB,ARGONNE,IL 60439
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1977年 / 14卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.569302
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:537 / 542
页数:6
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