MICROSTRUCTURE OF COCR THIN-FILMS PREPARED BY SPUTTERING

被引:21
作者
FUTAMOTO, M
HONDA, Y
KAKIBAYASHI, H
SHIMOTSU, T
UESAKA, Y
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1985年 / 24卷 / 06期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.24.L460
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:L460 / L462
页数:3
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