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- [51] GAS INCORPORATION INTO SPUTTERED FILMS[J]. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1967, 38 (10) : 3928 - &WINTERS, HFKAY, E
DIMENSIONAL EXPANSION AND SURFACE MICROSTRUCTURE IN HELIUM-IMPLANTED ERBIUM AND ERBIUM-HYDRIDE FILMS
被引：47
作者：
BLEWER, RS
MAURIN, JK
机构：
关键词：
D O I：
10.1016/0022-3115(72)90037-2
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
引用
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页码：260 / &
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