ADVANCES IN THE ELECTRICAL ASSESSMENT OF SEMICONDUCTORS USING THE SCANNING ELECTRON-MICROSCOPE

被引：71

作者：

DAVIDSON, SM

DIMITRIADIS, CA

机构：

来源：

JOURNAL OF MICROSCOPY-OXFORD | 1980年 / 118卷 / MAR期

关键词：

D O I：

10.1111/j.1365-2818.1980.tb00274.x

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：275 / 290

页数：16

共 17 条

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