A MICROWAVE METHOD FOR CONTACTLESS MEASUREMENT OF THE LIFETIME OF FREE-CARRIERS IN SILICON-WAFERS

被引：2

作者：

OTAREDIAN, T ^{[1
]}

MIDDELHOEK, S ^{[1
]}

THEUNISSEN, MJJ ^{[1
]}

机构：

[1] PHILIPS RES LABS,5600 JA EINDHOVEN,NETHERLANDS

来源：

JOURNAL DE PHYSIQUE | 1988年 / 49卷 / C-4期

关键词：

D O I：

10.1051/jphyscol:1988428

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：145 / 148

页数：4

共 3 条

KUNST, M ;

BECK, G .

LUKE, KL ;

CHENG, LJ .

OGITA, Y .