PIEZORESISTANCE IN N-TYPE SILICON INVERSION LAYERS AT LOW-TEMPERATURES

被引:17
作者
DORDA, G [1 ]
EISELE, I [1 ]
机构
[1] SIEMENS AG,FORSCH LAB,MUNICH,WEST GERMANY
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1973年 / 20卷 / 01期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210200127
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:263 / 273
页数:11
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