DOUBLE-APERTURE METHOD OF PRODUCING VARIABLY SHAPED WRITING SPOTS FOR ELECTRON LITHOGRAPHY

被引：27

作者：

THOMSON, MGR

COLLIER, RJ

HERRIOTT, DR

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1978年 / 15卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569622

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：891 / 895

页数：5

共 8 条

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