MONOLITHIC OPTICAL POSITION ENCODER WITH ON-CHIP PHOTODIODES

被引:25
作者
AUBERT, P
OGUEY, HJ
VUILLEUMIER, R
机构
[1] CTR SUISSE ELECTR & MICROTECH,DEPT INTEGRATED DEVICES,CH-2007 NEUCHATEL,SWITZERLAND
[2] CTR SUISSE ELECTR & MICROTECH,DEPT SOLID STATE DISPLAYS & OPT DETECTORS,CH-2007 NEUCHATEL,SWITZERLAND
关键词
D O I
10.1109/4.1008
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
33
引用
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页数:9
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