MEASUREMENTS OF MECHANICAL Q OF SINGLE-CRYSTAL SILICON AT LOW-TEMPERATURES

被引:117
作者
MCGUIGAN, DF [1 ]
LAM, CC [1 ]
GRAM, RQ [1 ]
HOFFMAN, AW [1 ]
DOUGLASS, DH [1 ]
GUTCHE, HW [1 ]
机构
[1] MONSANTO CO,ST PETERS,MO
关键词
D O I
10.1007/BF00116202
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:621 / 629
页数:9
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