COMPOUND MAGNETIC AND ELECTROSTATIC LENSES FOR LOW-VOLTAGE APPLICATIONS

被引：59

作者：

FROSIEN, J ^{[1
]}

PLIES, E ^{[1
]}

ANGER, K ^{[1
]}

机构：

[1] SIEMENS AG,FORSCHUNGSLAB,W-8000 MUNICH 83,GERMANY

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1989年 / 7卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.584683

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1874 / 1877

页数：4

共 18 条

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