SCANNING ELECTRON-MICROSCOPY OF CHARGING EFFECT ON SILICON

被引：10

作者：

KATO, T

MATSUKAWA, T

KOYAMA, H

FUJIKAWA, K

SHIMIZU, R

机构：

[1] MITSUBISHI ELECT CORP,KITA ITAMI WORKS,ITAMI,HYOGO,JAPAN

[2] OSAKA UNIV,DEPT APPL PHYS,SUITA,OSAKA,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.321823

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：2288 / 2292

页数：5

共 4 条

GREEN, D ;

SANDOR, JE ;

OKEEFFE, TW ;

MATTA, RK .

STANLEY, AG ;

WEGENER, HAR .

PROCEEDINGS OF THE INSTITUTE OF ELECTRICAL AND ELECTRONICS ENGINEERS, 1966, 54 (05) :784-&

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