ADDITIONAL INFORMATION ON COMPUTER SIMULATION OF SPUTTERING

被引:15
作者
HARRISON, DE
机构
[1] Naval Postgraduate School, Monterey
关键词
D O I
10.1063/1.1658293
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
[No abstract available]
引用
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页码:3870 / &
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