STUDY OF LI-O INTERACTION IN SI BY ION DRIFT

被引：49

作者：

PELL, EM

机构：

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1961年 / 32卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1736158

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1048 / &

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