CORRELATION BETWEEN RESISTANCE BEHAVIOR AND MASS-TRANSPORT IN AL-SI/TI MULTILAYER INTERCONNECTS

被引：8

作者：

FINETTI, M ^{[1
]}

SUNI, I ^{[1
]}

ARMIGLIATO, A ^{[1
]}

GARULLI, A ^{[1
]}

SCORZONI, A ^{[1
]}

机构：

[1] CNR,IST LAMEL,I-40126 BOLOGNA,ITALY

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.574254

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：2854 / 2858

页数：5

共 6 条

[1]

FINETTI M, 1986, 1985 P MRS M BOST, P812

GARDNER, DS ;

MICHALKA, TL ;

SARASWAT, KC ;

BARBEE, TW ;

MCVITTIE, JP ;

MEINDL, JD .

[3]

GARULLI A, UNPUB J ULTRAMICROSC

HOWARD, JK ;

WHITE, JF ;

HO, PS .

[5]

Iyer S. S., 1984, 22nd Annual Proceedings on Reliability Physics 1984 (Catalog No. 84CH1990-1), P273, DOI 10.1109/IRPS.1984.362058

PASCO, RW ;

SCHWARZ, JA .