DESIGN OF AN ELECTROSTATIC ION OPTICAL-SYSTEM FOR MICROFABRICATION WITH 100-A RESOLUTION

被引：15

作者：

OHIWA, H

BLACKWELL, RJ

SIEGEL, BM

机构：

[1] CORNELL UNIV,NATL RES & RESOURCE FACIL SUBMICRON STRUCT,ITHACA,NY 14853

[2] CORNELL UNIV,SCH APPL & ENGN PHYS,ITHACA,NY 14853

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 19卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571171

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1074 / 1076

页数：3

共 9 条

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