ION-BEAM INDUCED EPITAXIAL CRYSTALLIZATION OF GEXSI1-X/SI STRUCTURES

被引:19
作者
ELLIMAN, RG
RIDGWAY, MC
WILLIAMS, JS
BEAN, JC
机构
[1] AUSTRALIAN NATL UNIV,DEPT ELECTR MAT ENGN,CANBERRA,ACT 2600,AUSTRALIA
[2] AT&T BELL LABS,MURRAY HILL,NJ 07974
关键词
D O I
10.1063/1.102264
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页数:3
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