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PRACTICAL RESULTS OF EL2

被引：8
作者：
GIUFFRE, GJ
MARQUIS, JF
PFEIFFER, HC
STICKEL, W
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1979年 / 16卷 / 06期
关键词：
D O I：
10.1116/1.570262
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：1644 / 1648
页数：5
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  • [1] DAVIS DE, 1976, TECH DIGEST IEDM, P440
  • [2] DORAN S, 1975, J VAC SCI TECHNOL, V12, P117
  • [3] LOUGHRAN JF, 1976, TECH DIGEST IEDM, P437
  • [4] MAUER JL, 1976, TECHN DIGEST IEDM WA, P434
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    [J]. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1975, 12 (06): : 1170 - 1173
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    [J]. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1978, 15 (03): : 887 - 890
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    [J]. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1978, 15 (03): : 901 - 905
  • [8] STICKEL W, 1978, 8TH P INT C EL ION B, P32
  • [9] WEBER EV, 1979, J VAC SCI TECHNOL, V16, P1783
  • [10] YOURKE HS, 1976, TECH DIGEST IEDM, P431
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