A NEW APPLICATION OF ELECTRON-ENERGY LOSS SPECTROSCOPY TECHNIQUE FOR A NONDESTRUCTIVE STUDY OF THE SI-SIO2 INTERFACE

被引:21
作者
ITO, T
IWAMI, M
HIRAKI, A
机构
关键词
D O I
10.1016/0038-1098(80)90211-2
中图分类号
O469 [凝聚态物理学];
学科分类号
070205 ;
摘要
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页数:5
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