THICKNESS MEASUREMENT OF A THIN OXIDE LAYER BY SECONDARY-ELECTRON EMISSION

被引：5

作者：

OKAMOTO, K

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1136205

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：302 / 305

页数：4

共 5 条

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