MISFIT STRESS DEPENDENCE OF DISLOCATION DENSITY REDUCTION IN GAAS FILMS ON SI SUBSTRATES GROWN BY STRAINED-LAYER SUPERLATTICES

被引:71
作者
YAMAGUCHI, M [1 ]
SUGO, M [1 ]
ITOH, Y [1 ]
机构
[1] NIPPON TELEGRAPH & TEL PUBL CORP, OPT ELECTR LABS, ATSUGI, KANAGAWA 24301, JAPAN
关键词
D O I
10.1063/1.101052
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:2568 / 2570
页数:3
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