FORMATION OF SUB-MICRON GROWTH DEFECTS DURING VAPOR-DEPOSITION OF GAAS FILMS

被引:9
作者
LAVRENTIEVA, LG
IVONIN, IV
KRASILNIKOVA, LM
VILISOVA, MD
机构
来源
KRISTALL UND TECHNIK-CRYSTAL RESEARCH AND TECHNOLOGY | 1980年 / 15卷 / 06期
关键词
D O I
10.1002/crat.19800150609
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
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页数:7
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