HIGH-RATE EPITAXIAL-GROWTH OF ZNO FILMS ON SAPPHIRE BY PLANAR MAGNETRON RF SPUTTERING SYSTEM

被引：38

作者：

SHIOSAKI, T

OHNISHI, S

MURAKAMI, Y

KAWABATA, A

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(78)90461-X

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：346 / 349

页数：4

共 5 条

[1] SCATTERING IN ZNO-SAPPHIRE OPTICAL-WAVEGUIDES [J].

CHANNIN, DJ ;

HAMMER, JM ;

DUFFY, MT .

APPLIED OPTICS, 1975, 14 (04) :923-930

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HIROKAWA, Y ;

SHIOSAKI, T ;

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[4]

SHIOSAKI T, UNPUBLISHED

[5]

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