ON THE CONSTRUCTION OF A ZERODUR TRANSLATION DEVICE FOR X-RAY INTERFEROMETRIC SCANNING

被引：13

作者：

ALEMANNI, M

MANA, G

PEDROTTI, G

STRONA, PP

ZOSI, G

机构：

[1] COMAU,GRUGLIASCO,ITALY

[2] IST METROL G COLONNETTI,TORINO,ITALY

来源：

关键词：

D O I：

10.1088/0026-1394/22/1/004

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：55 / 63

页数：9

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共 15 条

[11]

SIEGERT H, 1984, NBS SPEC PUB, V617, P321

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[No title captured]