INTERFACE ENERGY AS AN ORIGIN OF INTRINSIC STRESS IN THIN-FILMS

被引:3
作者
ANDRA, W [1 ]
DANAN, H [1 ]
机构
[1] UNIV STRASBOURG 1,LAB PIERRE WEISS,F-67070 STRASBOURG,FRANCE
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1982年 / 70卷 / 02期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210700260
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:K145 / K149
页数:5
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