TRIBOLOGICAL COATINGS DEPOSITED BY RED-HOT ROD TARGET SPUTTERING

被引：5

作者：

DUCKWORTH, RG

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(80)90490-3

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：275 / 282

页数：8

共 8 条

BHUSHAN, B .

[2] RF SPUTTERED MOS2 PARAMETER EFFECTS ON WEAR LIFE [J].

CHRISTY, RI ;

LUDWIG, HR .

DUCKWORTH, RG ;

WILSON, IH .

[4] CONDITIONS FOR ROUTINE PREPARATION OF TANTALUM-ALUMINUM FILMS [J].

DUCKWORTH, RG .

[5]

DUCKWORTH RG, 1978, P INT C ION BEAM MOD, P1207

[6]

DUCKWORTH RG, 1977, P INT C THIN THICK F, P83

[7]

LIN DS, 1974, ASLE TRANS, V17, P251

[8] COATINGS FOR WEAR AND LUBRICATION [J].

SPALVINS, T .