POROUS STRUCTURE OF SIO2-FILMS SYNTHESIZED AT LOW-TEMPERATURE AND PRESSURE

被引：40

作者：

BAKLANOV, MR

VASILYEVA, LL

GAVRILOVA, TA

DULTSEV, FN

MOGILNIKOV, KP

NENASHEVA, LA

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1989年 / 171卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(89)90032-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

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页码：43 / 52

页数：10

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