EPITAXIAL-GROWTH OF GE ON LESS-THAN-100 GREATER-THAN SI BY A SIMPLE CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION TECHNIQUE

被引:46
作者
KUECH, TF [1 ]
MAENPAA, M [1 ]
LAU, SS [1 ]
机构
[1] UNIV CALIF SAN DIEGO,LA JOLLA,CA 92093
关键词
D O I
10.1063/1.92695
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:3
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