ANALYSIS OF EVAPORATED SILICON OXIDE FILMS BY MEANS OF (D,P) NUCLEAR REACTIONS AND INFRARED SPECTROPHOTOMETRY

被引:49
作者
CACHARD, A
ROGER, JA
PIVOT, J
DUPUY, CHS
机构
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1971年 / 5卷 / 03期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210050314
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:637 / &
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