INITIAL OXIDATION AND OXIDE SEMICONDUCTOR INTERFACE FORMATION ON GAAS

被引:90
作者
WILMSEN, CW
KEE, RW
GEIB, KM
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1979年 / 16卷 / 05期
关键词
D O I
10.1116/1.570216
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1434 / 1438
页数:5
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