PREFERENTIAL SPUTTERING OF CO-EVAPORATED CU-NI FILM ASSOCIATED WITH ALTERED LAYER

被引:12
作者
GOTO, K
KOSHIKAWA, T
ISHIKAWA, K
SHIMIZU, R
机构
关键词
D O I
10.1016/0039-6028(78)90259-5
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
引用
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页码:L373 / L375
页数:3
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