ANNEALING CHARACTERISTICS OF ION-IMPLANTED P-CHANNEL MOS-TRANSISTORS

被引:9
作者
NAKAMURA, K [1 ]
KAMOSHID.M [1 ]
机构
[1] NIPPON ELECT CO LTD,IC DIV,1753 SHIMONUMABE,KAWASAKI 211,JAPAN
关键词
D O I
10.1063/1.1663045
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:4262 / 4267
页数:6
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