OPTICAL-CONSTANTS OF ARSENIC AND BORON IMPLANTS IN SILICON DETERMINED BY A 4-PHASE COMPLEX REFRACTIVE-INDEX MODEL

被引：5

作者：

DELFINO, M

RAZOUK, RR

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2123934

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：606 / 609

页数：4

共 6 条

ARCHER, RJ .

DELFINO, M ;

RAZOUK, RR .

[3]

DELFINO M, 1980, EL SOC EXT ABSTR, P1268

[4]

GIBBONS JF, 1975, PROJECTED RANGE STAT

[5]

HUBLER GK, 1979, J APPL PHYS, V50, P3295

[6] OPTICAL-CONSTANTS OF SILICON BY UNPOLARIZED INCIDENT RADIATION [J].

RUSSO, OL .