CHARACTERIZATION AND ANALYSIS OF DETECTOR MATERIALS AND PROCESSES

被引：9

作者：

EICHINGER, P

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0168-9002(87)90512-2

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：313 / 318

页数：6

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[11]

RATH H, UNPUB

[12]

RIOTTE HG, 1980, RADIOCHIM ACTA, V27, P209

SHIMURA, F ;

TSUYA, H ;

KAWAMURA, T .

[14] EMPIRICAL MODELING OF LOW-ENERGY BORON IMPLANTS IN SILICON [J].

SIMARDNORMANDIN, M ;

SLABY, C .

[15]

STAPPER CH, 1983, P IEEE INT SOLID STA, P12