CHARACTERIZATION OF SILICON LAYERS VIA GUIDED WAVE OPTICS

被引：15

作者：

OLIVIER, M

PEUZIN, JC

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.90063

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：386 / 388

页数：3

共 9 条

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