GE SEGREGATION DURING MOLECULAR-BEAM EPITAXIAL-GROWTH OF SI1-XGEX/SI LAYERS

被引:17
作者
GRAVESTEIJN, DJ
ZALM, PC
VANDEWALLE, GFA
VRIEZEMA, CJ
VANGORKUM, AA
VANIJZENDOORN, LJ
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(89)90444-6
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:191 / 196
页数:6
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