SOME PROPERTIES OF THIN ALUMINUM NITRIDE FILMS FORMED IN A GLOW-DISCHARGE

被引：8

作者：

UEMURA, Y ^{[1
]}

TANAKA, K ^{[1
]}

IWATA, M ^{[1
]}

机构：

[1] NATL INST RES INORG MAT,KURAKAKE,SAKURA,NIIHARI,IBARAKI,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(74)90028-5

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：11 / 16

页数：6

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共 13 条

[11]

PINTO R, 1965, JAPAN J APPL PHYS, V4, P545

SIMMONS, JG ;

VERDERBER, RR .

[13] VACUUM DEPOSITION OF AIN ACOUSTIC TRANSDUCERS [J].

WAUK, MT ;

WINSLOW, DK .