CHEMICAL EFFECTS IN ION MIXING OF A TERNARY-SYSTEM (METAL-SIO2)

被引：13

作者：

BANWELL, T

NICOLET, MA

SANDS, T

GRUNTHANER, PJ

机构：

[1] CALTECH,JET PROP LAB,PASADENA,CA 91109

[2] BELL COMMUN RES INC,RED BANK,NJ 07701

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.98138

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：571 / 573

页数：3

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共 14 条

[11] REACTION OF THIN METAL-FILMS WITH SIO2 SUBSTRATES [J].

PRETORIUS, R ;

HARRIS, JM ;

NICOLET, MA .

[12] THEORETICAL ASPECTS OF ATOMIC MIXING BY ION-BEAMS [J].

SIGMUND, P ;

GRASMARTI, A .

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS, 1981, 182 (APR) :25-41

[13]

White C. W., 1984, Materials Letters, V2, P367, DOI 10.1016/0167-577X(84)90113-7

[14]

Winterbon K. B., 1975, ION IMPLANTATION RAN