ON THE INTERACTION BETWEEN CRYSTAL DEFECTS AND IMPURITIES IN SILICON INVESTIGATED BY ELECTRON-MICROSCOPIC METHODS

被引:25
作者
MENNIGER, H [1 ]
RAIDT, H [1 ]
GLEICHMANN, R [1 ]
机构
[1] ACAD SCI GDR,INST FESTKORPERPHYS & ELEKTRONENMIKROSKOPIE,DDR-401 HALLE,GER DEM REP
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1980年 / 58卷 / 01期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210580121
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:173 / 180
页数:8
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