MONTE-CARLO CALCULATIONS OF SPATIAL-RESOLUTION IN A SCANNING AUGER-ELECTRON MICROSCOPE

被引:71
作者
ELGOMATI, MM
PRUTTON, M
机构
关键词
D O I
10.1016/0039-6028(78)90365-5
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
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页数:10
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