ADVANCED DEFLECTION CONCEPT FOR LARGE AREA, HIGH-RESOLUTION E-BEAM LITHOGRAPHY

被引：49

作者：

PFEIFFER, HC

LANGNER, GO

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 19卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571168

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1058 / 1063

页数：6

共 20 条

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