DEVELOPMENT OF BORON LIQUID-METAL ION-SOURCE FOR FOCUSED ION-BEAM SYSTEM

被引：13

作者：

HIGUCHIRUSLI, RH

CADIEN, KC

CORELLI, JC

STECKL, AJ

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1987年 / 5卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.583860

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：190 / 194

页数：5

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共 12 条

[11]

PREWETT PD, 1985, 9TH P S ISIAT 85 TOK

[12] A MASS-SEPARATING FOCUSED-ION-BEAM SYSTEM FOR MASKLESS ION-IMPLANTATION [J].

WANG, V ;

WARD, JW ;

SELIGER, RL .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1981, 19 (04) :1158-1163