IMPLANTED INTERSTITIAL BORON ATOMS IN SILICON

被引:6
作者
NETANGE, B
BARUCH, P
CHERKI, M
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1654181
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:349 / &
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