A HIGH SPEED PRECISION AUTOMATIC ELLIPSOMETER

被引：88

作者：

CAHAN, BD

SPANIER, RF

机构：

[1] John Harrison Laboratory of Chemistry, University of Pennsylvania, Philadelphia

[2] O. C. Rudolph and Sons, Inc., Caldwell

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0039-6028(69)90015-6

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：166 / &

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