CHARACTERIZATION OF FILAMENT-ASSISTED CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION DIAMOND FILMS USING RAMAN-SPECTROSCOPY

被引:121
作者
BUCKLEY, RG [1 ]
MOUSTAKAS, TD [1 ]
LING, Y [1 ]
VARON, J [1 ]
机构
[1] EXXON RES & ENGN CO, ANNANDALE, NJ 08801 USA
关键词
D O I
10.1063/1.344065
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:3595 / 3599
页数:5
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