PHOTO-LUMINESCENCE ANALYSIS OF IMPURITIES IN EPITAXIAL SILICON-CRYSTALS

被引：15

作者：

TAJIMA, M ^{[1
]}

NOMURA, M ^{[1
]}

机构：

[1] HITACHI LTD,CTR DEVICE DEV,COMP GRP,KODAIRA,TOKYO 187,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.20.L697

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L697 / L700

页数：4

共 8 条

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