DEPOSITION OF METAL-FILMS BY THE CONTROLLED DECOMPOSITION OF ORGANOMETALLIC COMPOUNDS ON SURFACES

被引:33
作者
GEORGE, PM
BEAUCHAMP, JL
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(80)90311-9
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:L25 / L28
页数:4
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