一种室温下制备晶态氧化铟透明导电薄膜的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310246864.7
申请日
2013-06-20
公开(公告)号
CN103311375A
公开(公告)日
2013-09-18
发明(设计)人
朱嘉琦 杨磊 曹文鑫 韩杰才
申请人
申请人地址
150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
C23C1435 C23C1408
代理机构
哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109
代理人
杨立超
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
室温下制备AZO透明导电薄膜的方法 [P]. 
李辉 ;
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[2]
低温沉积柔性晶态氧化铟锡透明导电薄膜的制备方法 [P]. 
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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