一种氟掺杂氧化铟锡透明导电薄膜及其制备方法

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申请号
CN202210477723.5
申请日
2022-04-28
公开(公告)号
CN114807856A
公开(公告)日
2022-07-29
发明(设计)人
黄靖云 陆波静 夏功伟 叶志镇
申请人
申请人地址
310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
IPC主分类号
C23C1408
IPC分类号
C23C1428
代理机构
杭州求是专利事务所有限公司 33200
代理人
万尾甜;韩介梅
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
氟掺杂氧化锡透明导电薄膜玻璃及其制造方法 [P]. 
金相学 ;
金昌烈 ;
柳道馨 ;
许胜宪 ;
赵光渊 ;
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[2]
氧化铟锡透明导电薄膜的制备方法 [P]. 
刘海笑 ;
王钦宁 ;
吴巍 ;
李树红 ;
马英姿 ;
董艳 ;
张仲江 .
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[3]
金属氧化铟锡复合透明导电薄膜及其制备方法 [P]. 
龚大卫 ;
樊永良 ;
蒋最敏 ;
候晓远 ;
王迅 .
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[4]
一种氧化铟锡透明导电薄膜的制备方法 [P]. 
苏青峰 ;
宋姜兴子 ;
田敬坤 ;
王传博 ;
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[5]
超声雾化制备氟掺杂氧化锡透明导电薄膜的方法及其应用 [P]. 
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[6]
镓钼共掺杂铟锡氧化物陶瓷靶、透明导电薄膜及制备方法 [P]. 
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[7]
透明导电铟掺杂氧化锡 [P]. 
K·K·乌普雷蒂 ;
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R·谢伦伯格 ;
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[8]
氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜的制备方法 [P]. 
徐洪芳 ;
王绩伟 ;
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[9]
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[10]
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宁洪龙 ;
刘贤哲 ;
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张旭 ;
袁炜健 ;
张观广 ;
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梁宏富 ;
张啸尘 ;
彭俊彪 .
中国专利 :CN109727702A ,2019-05-07